电子半导体行业

在电子半导体制造领域,晶圆清洗、芯片蚀刻、薄膜沉积等工艺对水质要求极为严苛,水中微量离子、有机物及颗粒物的残留都会导致芯片良率下降。高佳针对电子半导体行业「超纯水制备 - 废水回用 - 零排放」全流程需求,打造「高精度水质控制解决方案」—— 通过石英砂滤料预处理、纤维球滤料深度净化、活性炭吸附及特种树脂组合工艺,系统性解决电阻率不足、颗粒污染、有机物残留等难题,助力企业实现超纯水(18.2MΩ・cm)制备与环保合规。

—— 用精密产品组合突破水质极限

■ 行业痛点
  • 常规水处理工艺难以达到超纯水(电阻率≥18MΩ・cm)标准
  • 晶圆清洗废水中氟化物、重金属离子去除不彻底,回用率低
  • 芯片生产过程中颗粒物(≥0.1μm)污染导致良率损失超 5%
■ 高佳解决方案
  1. 超纯水制备系统
  • 预处理阶段:采用「石英砂滤料(粒径 0.5-1mm)+ 无烟煤滤料」双层过滤,拦截水中悬浮物及胶体,浊度降至 0.2NTU 以下;搭配锰砂滤料去除铁锰离子,防止后续树脂中毒。
  • 深度净化阶段:部署「改性纤维球滤料 + 椰壳活性炭」组合工艺,改性纤维球滤料通过微米级孔隙吸附有机物,椰壳活性炭(碘值≥1000mg/g)进一步去除残留余氯及小分子有机物,确保 SDI(污染指数)<1.0。
  • 终端精处理:采用「抛光树脂 + 0.05μm 超滤膜」,配合高佳专用阻垢剂(投加量 5-10mg/L),控制水中总有机碳(TOC)<5ppb,颗粒物(≥0.1μm)<100 个 / L,最终产出 18.2MΩ・cm 超纯水。
  1. 废水回用与零排放
  • 针对含氟清洗废水,采用「活性氧化铝球(除氟剂)+ 蜂窝斜管填料」,活性氧化铝通过离子交换吸附氟离子(去除率≥95%),蜂窝斜管填料加速沉淀,处理后氟离子≤1mg/L;叠加「铁碳微电解填料 + 次氯酸钠」,去除废水中的有机物及重金属,回用水质达到超纯水制备系统进水标准。

「高佳净水,为芯片制造构筑水质安全防线」

当电子半导体企业还在为超纯水制备的高成本与低稳定性困扰时,高佳已通过「滤料 – 树脂 – 膜 – 药剂」的精密组合,实现从原水到超纯水的全链路精准控制。我们的方案不仅是制备高纯度水,更是通过石英砂的精密过滤、纤维球的深度吸附、活性炭的有机物截留及特种药剂的协同作用,将水质控制到原子级纯净 —— 每 1 升超纯水中,离子含量不足 1 毫克,颗粒物数量少于 100 个,这种极致纯净度为 7nm 以下芯片制造提供关键保障,让良率提升不再受水质瓶颈制约。

「极致纯净・良率保障」
  • 石英砂滤料经酸洗活化处理,硅含量≥99.6%,减少溶出离子污染
  • 改性纤维球滤料孔隙率达 96%,对 0.1μm 级颗粒物拦截率超 99.9%
  • 终端抛光树脂采用核级树脂,交换容量≥1900mmol/L,确保电阻率长期稳定在 18.2MΩ・cm
「节能降耗・成本优化」
  • 智能再生系统:石英砂滤料与树脂床层采用脉冲式反冲洗,用水量减少 40%
  • 废热回收技术:超纯水制备过程中产生的冷凝水经活性炭吸附后回用,水资源利用率提升至 90%
  • 药剂精准投加:通过在线 TOC 监测仪联动控制阻垢剂投加,用量误差≤±3%,较人工投加节约成本 25%
「环保合规・零排放支持」
  • 针对《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020),定制「活性氧化铝 + 铁碳微电解」处理方案,确保氟化物、重金属离子达标排放
  • 提供废水零排放整体设计,通过「膜浓缩 + 蒸发结晶」技术,将最终浓水减量 95%,助力企业通过环保审计

高佳净水・即刻开启水质革新之旅

「一键获取专属解决方案」
无论您是市政水务、工业企业,还是家庭用户,高佳始终以专业技术为您提供精准服务。点击下方按钮,即可享受:

 

  • 免费水质检测:专业团队上门采样,出具 28 项指标分析报告
  • 定制方案设计:根据工况需求匹配最优净化工艺,附成本收益测算
  • 技术答疑支持:7×24 小时工程师在线解答,提供全周期技术咨询

 

现在行动,立享三重礼遇
▶ 新客户首单享 9 折优惠(限前 50 名)
▶ 提交用水数据即赠《净水材料选型手册》
▶ 签约企业可申请「绿色水处理示范基地」挂牌

 

↓ 点击下方按钮,开启水质优化之旅 ↓
[立即咨询专属顾问] [免费领取样品] [预约现场勘查]